實驗平台
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實驗平台建設


7類實驗室+4大表征平台:
微納加工平台、芯片封測實驗室、增材製造平台(tái)、化學合成實驗室、有機光電材(cái)料實驗室、電化學傳感(gǎn)技術實驗室、無菌生物實驗室、可靠性(xìng)實驗室、環境實(shí)驗室、光電實驗室(shì)、微納尺度表征平台(tái)、實驗室綜合管理辦公室。
4個核心實驗平台覆蓋材料合成(chéng)、器件製備到係統集成全過程,包括三大技術路線:微納加工、增材(cái)製造(zào)、芯片封裝。



千級潔淨室、化(huà)學實驗室、電學測試室、通風櫥:

● 實驗(yàn)室坐落於嘉興(xìng)科技城,實驗室組成包括500平米千(qiān)級潔淨室及化學實(shí)驗室。
● 實驗室現已有儀器設備包括(kuò):ALD原子沉積機(jī)台,真空管式爐設備,多功能超純水係統設備,倒置熒光顯微鏡,半導體(tǐ)參數測量(liàng)儀,塘樹通風(fēng)櫃,等離子清洗機,選擇(zé)性(xìng)塗覆/點膠係統等(děng)。
● 可開展包括化學(xué)合成, 微納製備,封裝,測試等科研工作。

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